2001年

2005年

2007年

2015年

2017年

2019年

2021年

2022年

2023年

2024年

25~26年

- 设计了中试型的全自动化监控的MOCVD,用于外延GaN和ZnO

2001年

- 设计制造了中国第一台完全自主知识产权的MBE(分子束外延设备),用于外延光电半导体材料

2005年

- 设计超高温CVD 和MBE,用于4H晶型SiC外延生长
- 设计制造了光学级金刚石生长设备(采用热激发技术和CVD技术)

2007年

- 设计制造了金刚石涂层制备设备,制备了金刚石电极、微米晶和纳米晶金刚石薄膜、导电金刚石薄膜

2015年

- 优化Rheed设计,开始生产型MBE设计
- 开始研发PSD方法外延GaN的工艺和装备

2017年

- 设计制造了大型热丝CVD金刚石薄膜的生产设备

2019年

- 鹏城半导体技术(深圳)有限公司总公司成立

2021年

- 鹏城微纳技术(沈阳)有限公司成立
- 热丝化学气相沉积设备、高真空磁控溅射仪、电子束蒸镀机、分子束外延与磁控溅射联用设备多套出货 

2022年

-高新技术企业
-荣获AAA级企业信用证书
-被评定为科技型中小企业
-创新创业大赛-国赛 优秀企业奖
-沈阳工业设计大赛装备产品设计赛优秀奖
- “沈阳华铁杯”2023年“创客中国“-企业组一等奖
-第八届“创客中国”-辽宁省中小企业创新创业大赛决赛三等奖
-第十二届中国创新创业大赛(辽宁赛区) 创业大赛高端装备制造行业赛一等奖

2023年

-与军工和核工业客户合作取得突破
-鹏城微纳技术(沈阳)有限公司扩产

2024年

-与军工和和核工业客户合作取得突破(核反应堆材料的涂层工艺及装备、X 光感受板及光电器件的薄膜生长)
-鹏城微纳子公司扩产
-TGV/TSV/TMV
-微光探测、医疗影像、复合硬质涂层

25~26年