技术专利
真空镀膜机
镀膜设备（热丝薄膜沉积）
一种用于低压气相沉积的抽气装置
多用途可移动式样品台及真空设备
一种PECVD镀膜设备
一种磁控溅射仪
一种废气处理水浴箱
一种分区温控束源炉及高真空蒸发镀膜装置
一种基片旋转样品台
一种矩形磁控溅射靶
一种用于低压气相沉积的抽气装置
一种耐高温高压密封坩埚组件
多功能磁控溅射仪数据采集系统软件
多功能磁控溅射仪工艺可重构系统软件
磁控及热蒸发系统软件V1.0
多功能磁控溅射系统软件V1.0
高真空PECVD薄膜制备设备软件
高真空热蒸发薄膜沉积系统软件V1.0
立式多功能热丝CVD沉积系统软件V1.0
碳化硅薄膜沉积系统软件 V1.0
联系人：戴小姐
沈阳办公地址：辽宁省沈阳市大东区望花南街15号
深圳总部地址：广东省深圳市南山区留仙大道3370号南山智园崇文园区1号楼
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