核心业务：微纳技术与高端精密制造
Micro nano technology and high-end precision manufacturing
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半导体和泛半导体领域
Semiconductor and general semiconductor fields
半导体和泛半导体领域

半导体和泛半导体材料、 工芝和装备的研发设计 生产制造商

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生产型 TGV/TSV/TMV 高真空磁控溅射镀膜机
Production-type TGV/TSV/TMV High Vacuum Magnetron Sputtering Coater
生产型 TGV/TSV/TMV 高真空磁控溅射镀膜机
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生产型 高真空磁控溅射及离子辅助复合镀膜机
Production-type high vacuum magnetron sputtering and ion-assisted composite coating machine
生产型 高真空磁控溅射及离子辅助复合镀膜机
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生产型 高真空磁控溅射离子辅助多弧复合镀膜机
Production type high vacuum magnetron sputtering ion assisted multi arc composite coating machine
生产型 高真空磁控溅射离子辅助多弧复合镀膜机
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HFCVD 热丝化学气相沉积设备
HFCVD hot wire chemical vapor deposition equipment
HFCVD 热丝化学气相沉积设备
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基于自主设备的先进半导体材料供应商
基于自主设备的先进半导体材料供应商

PECVD等离子体增强化学气相沉积设备主要用于在洁净真空环境下进行氮化硅和氧化硅的薄膜生长

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微纳技术与高端精密制造
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生产型TGV/TSV高真空磁控溅射镀膜机
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生产/科研型薄膜沉积设备
HFCVD 化学气相沉积设备
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产品展示

总程系统

设备整体为cluster结构，由光电转换薄膜沉积系统、MAMS 电子剥离系统、排气封装系统、吸气材料真空涂敷系统、整体除气系统组成。可实现整体自动协调操作，也可各系统独立运行，互不干扰，系统间可设置互锁。316材质制造，预留若干法兰接口。

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总程系统

超高真空高能脉冲磁控溅射镀膜设备（HITSemi-UHV-HiPIMS）

超高真空高能脉冲磁控溅射镀膜设备，是在超洁净环境下，采用纳米及原子级制造技术，生长高纯度高质量薄膜。应用场景之一：GaN单晶薄膜生长工艺、GaN基稀磁半导体分子结构材料制备的工艺实现。

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超高真空高能脉冲磁控溅射镀膜设备（HITSemi-UHV-HiPIMS）

生产型 TGV/TSV /TMV 高真空磁控溅射镀膜机

生产型TGV/TSV/TMV高真空磁控溅射镀膜机（Sputter-2000W系列）该设备用于玻璃基板和陶瓷基板的高密度通孔和盲孔的金属种子层镀膜，深径比>10:1。

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生产型 TGV/TSV /TMV 高真空磁控溅射镀膜机

MBE分子束外延设备

分子束外延薄膜生长设备（MBE）（分子束外延MBE）该设备可以在某些衬底上实现外延生长工艺，实现分子自组装、超晶格、量子阱、一维纳米线等。可以进行第二代半导体和第三代半导体的工艺验证和外延片的生长制造。 分子束外延薄膜生长设备在薄膜外延生长时具有超高的真空环境，是在理想的环境下进行薄膜外延生长，它可以排除在薄膜生长时的各种干扰因素，得到理想的高精度薄膜。

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MBE分子束外延设备
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关于我们

鹏城微纳技术（沈阳）有限公司

由哈尔滨工业大学（深圳）与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。

鹏城微纳技术（沈阳）有限公司，由哈尔滨工业大学（深圳）与有多年实践经验的工程师团队共同发起创建。公司立足于技术、市场和产业的交叉点，坚持创新与可持续发展，致力于解决产业的技术瓶颈和国产化难题，助力产业链的自主可控。 鹏城微纳技术（沈阳）有限公司是鹏城半导体技术（深圳）有限公司全资子公司，是半导体和泛半导体工艺和装备的设计和生产制造基地。 公司业务是微纳技术、精密制造及原子级制造，具体应用领域包括半导体和泛半导体材料、工艺、装备的研发设计、生产制造、工艺技术服务及装备的升级改造，可为用户提供工艺研发和打样，可为生产企业提供生产型设备，可为科学研究提供科研设备。 公司人才团队知识结构完整，有工程师哈工大教授和博士，拥有高水平材料研究和工艺研究团队，还有来自工业界30多年装备设计师团队，他们具有30多年的半导体材料研究、外延技术研究和半导体薄膜制备成套装备设计、生产制造的经验。 公司依托于哈尔滨工业大学（深圳），具备完善的半导体研发设备平台和测试设备平台，可以在高起点开展科研工作。公司总部位于深圳市，具备半导体和泛半导体装备的研发、生产、调试以及器件的中试、生产、销售的能力。

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2022 年

公司成立时间

60 +

技术专利

30 年 +

技术积累

200 +

服务客户

实验室及研发中心

依托哈尔滨工业大学(深圳)完备的实验平台和测试分析平台,为研发和生产提供支撑。

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材料科学与工程实验教学中心

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扫描电子显微镜(SEM)

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拉曼光谱仪

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新闻资讯

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大尺寸金刚石薄膜是实现规模化工业应用的关键，而HFCVD热丝化学气相沉积技术，正是目前制备大尺寸金刚石薄膜最主流、最高效的工业化方案。
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初夏五月，盛会将至。2026年5月22日—24日，2026年微纳器件与系统应用技术大会暨第十九届中国微纳电子技术交流与学术研讨会将在滨海城市大连隆重召开。鹏城微纳技术（沈阳）有限公司（以下简称“鹏城微纳”）将出席本次大会，与行业专家学者及产业链上下游伙伴共探微纳器件、先进封装、半导体装备国产化新机遇。