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资质荣誉

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“创赢未来”2026创业大赛辽宁省选拔赛“科技成果+创业”赛道一等奖

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真空镀膜机

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镀膜设备（热丝薄膜沉积）

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一种用于低压气相沉积的抽气装置

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多用途可移动式样品台及真空设备

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高新技术企业

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一种PECVD镀膜设备

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可靠性预测与评估实验室

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Dynacool综合物性测试系统(PPMS)

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X射线衍射(XRD)

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扫描电子显微镜(SEM)

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原子力显微镜(AFM)

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X射线光电子能谱仪(XPS)

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拉曼光谱仪

拉曼光谱仪

显微光致发光光谱仪

显微光致发光光谱仪

微米与纳米流体力学研究中心

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航空航天微纳器件制备和检测平台

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微纳光电信息系统理论与技术工业和信息化部重点实验室

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微型光电器件工程实验室

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一种磁控溅射仪

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