资质荣誉

“创赢未来”2026创业大赛辽宁省选拔赛“科技成果+创业”赛道一等奖

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真空镀膜机

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镀膜设备(热丝薄膜沉积)

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一种用于低压气相沉积的抽气装置

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多用途可移动式样品台及真空设备

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高新技术企业

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一种PECVD镀膜设备

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一种磁控溅射仪

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一种废气处理水浴箱

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一种分区温控束源炉及高真空蒸发镀膜装置

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一种基片旋转样品台

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一种矩形磁控溅射靶

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一种用于低压气相沉积的抽气装置

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一种耐高温高压密封坩埚组件

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多功能磁控溅射仪数据采集系统软件

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多功能磁控溅射仪工艺可重构系统软件

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磁控及热蒸发系统软件V1.0

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多功能磁控溅射系统软件V1.0

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高真空PECVD薄膜制备设备软件

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高真空热蒸发薄膜沉积系统软件V1.0

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