磁控溅射技术是什么?


发布时间:

2024-01-26

磁控溅射技术属于PVD(物理气相沉积)技术的一种,是制备薄膜材料的重要方法之一。

  磁控溅射技术属于PVD(物理气相沉积)技术的一种,是制备薄膜材料的重要方法之一。

  磁控溅射设备使得镀膜厚度及均匀性可控,且制备的薄膜致密性好、粘结力强及纯净度高,设备应用跨越多个技术,代表着国产集成电路薄膜制备工艺设备的较高水平,适用于集成电路IC、功率器件、半导体照明LED、先进封装、模具、各行业零配件等。

  设备制造商:鹏城半导体技术(深圳)有限公司
  1-3-6-3-2-7-5-0-0-1-7;微信公众号:鹏城半导体

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