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芯片先进制程

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电子束如何在真空中给材料“镀”上一层膜?


现代器件的性能,很大程度上取决于薄膜。薄膜可能只有几十到几百纳米厚,却影响着芯片导不导电、镜片透不透光、器件耐不耐高温。这层膜是怎么“铺”上去的?答案之一,便是高真空电子束蒸发镀膜。

高能脉冲磁控溅射镀膜,半导体纳米世界的国产密码


我们每天用的手机、电脑、5G设备,其核心芯片里,藏着一个比头发丝直径万分之一还小的“纳米世界”——先进制程半导体世界。其芯片内部的绝缘层、阻挡层、导电膜,都需要在纳米级精度下“生长”——这就是高能脉冲磁控溅射(HiPIMS)镀膜技术的舞台。

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