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超高真空高能脉冲磁控溅射

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高能脉冲磁控溅射镀膜，半导体纳米世界的国产密码

高能脉冲磁控溅射镀膜，半导体纳米世界的国产密码

我们每天用的手机、电脑、5G设备，其核心芯片里，藏着一个比头发丝直径万分之一还小的“纳米世界”——先进制程半导体世界。其芯片内部的绝缘层、阻挡层、导电膜，都需要在纳米级精度下“生长”——这就是高能脉冲磁控溅射（HiPIMS）镀膜技术的舞台。

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高能脉冲磁控溅射

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芯片先进制程

超高真空高能脉冲磁控溅射

UHV-HiPIMS

超高真空高能脉冲磁控溅射镀膜设备

GaN单晶薄膜生长

稀磁半导体

物理气相沉积（PVD）

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