产品中心
logo
PRODUCTS CENTER
产品中心

cvd

关键词：

产品 新闻
真空高温CVD炉

真空高温CVD炉

真空高温CVD 炉采用高温化学气相沉积的方法，在工件表面沉积各种薄膜，在半导体工业中应用非常广泛，包括沉积大面积的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料，例如：碳化钽涂层、碳化硅涂层材料。

关键词：

真空高温CVD炉

cvd

碳化钽

碳化硅

薄膜制备设备

CVD 化学气相沉积设备

< 1 > 前往 页
台风资讯|HFCVD——大尺寸金刚石薄膜沉积

台风资讯|HFCVD——大尺寸金刚石薄膜沉积

大尺寸金刚石薄膜是实现规模化工业应用的关键，而HFCVD热丝化学气相沉积技术，正是目前制备大尺寸金刚石薄膜最主流、最高效的工业化方案。

关键词：

HFCVD

台风

热丝化学气相沉积

cvd

金刚石薄膜

金刚石晶圆片

薄膜制备

薄膜沉积装备

热丝不塌腰

大尺寸金刚石薄膜

鹏城微纳

< 1 > 前往 页