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LPCVD 低压化学气相沉积设备

LPCVD 低压化学气相沉积设备

LPCVD低压化学气相沉积设备（科研型LPCVD）是在低压高温的条件下，通过化学反应气相外延的方法在衬底上沉积各种功能薄膜（主要是Si3N4、SiO2及Poly硅薄膜）。可用于科学研究、实践教学、小型器件制造。

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LPCVD

低压化学气相沉积系统

CVD

CVD 化学气相沉积设备

薄膜制备设备

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热烈祝贺鹏城微纳荣获“创赢未来”2026创业大赛辽宁省选拔赛一等奖

热烈祝贺鹏城微纳荣获“创赢未来”2026创业大赛辽宁省选拔赛一等奖

2026年6月10日至12日，由辽宁省人力资源和社会保障厅、辽宁省教育厅、辽宁省科学技术厅、辽宁省农业农村厅、辽宁省退役军人事务厅联合主办的“创赢未来”2026创业大赛辽宁省选拔赛在铁岭市举行。鹏城微纳技术（沈阳）有限公司（简称“鹏城微纳”）斩获“科技成果+创业”赛道一等奖。

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“创赢未来”2026创业大赛

2026创业大赛辽宁省选拔赛

“创赢未来”2026创业大赛辽宁省选拔赛

鹏城微纳

鹏城半导体

隧道连续式高真空磁控溅射镀膜封装设备

磁控溅射镀膜

高真空磁控溅射

镀膜封装设备

物理气相沉积（PVD）

CVD

科技成果+创业赛道一等奖

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