Through-Silicon Via
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打通AI芯片的数据传输大动脉,支撑算力持续跃升,需要芯片内部的底层关键技术——TSV硅通孔。TSV全称为Through-Silicon Via,中文译为硅通孔技术。简单来说,它通过在硅片中制造垂直通孔并填充导电材料,从而在硅片的上下表面之间建立一条垂直的高密度电互连通道,实现芯片之间互连,是2.5D/3D封装的关键工艺技术之一。
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